微波光氧催化設備采用無極燈管發射紫外光波段照射廢氣分子，產生游離電子及電子空穴，生成的光氧還原功能，可氧化分解各種有機化合物和部分無機化合物，當惡臭氣體中的廢氣分子吸收了紫外線的能量后，細菌分子的DNA（脫氧糖核酸）與核蛋白之間的斷裂，造成核酸與蛋白的交聯破壞，達到了第一階段微波光氧催化要達到的廢氣除臭凈化作用。
微波光氧催化技術就是在紫外光的作用下發生了化學反應。大自然中常見光化學反應需要空氣中的分子吸收特定波長的電磁輻射激產生分子激發態，然后發生化學反應生成了新的物質或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量而紫外光則是利用特制的紫外線光束照射有機廢氣VOC，例如說裂解苯、甲苯、二甲苯等的分子鍵使之成為游離狀態的污染物分子。同時在微波光氧催化技術的紫外線光束的照射下分解空氣中的氧分子產生游離氧，再由其與氧分子結合進而產生臭氧。
作為高氧化劑的臭氧能夠對惡臭氣體及其它刺激性異味有的清除效果。并且通過納米催化床能夠將多種催化劑共同作用從而對有機廢氣進行一個無害化的轉化，轉化的產物為二氧化碳和水，整個過程中能夠有效地減少污染物的危害性。
微波光氧催化設備主要優勢：
無需添加任何輔助材料或其他物質即可達到去除廢氣的目的。
具有適應性受工作環境的影響小，針對飼料廠的高溫高濕高粉塵環境也可以應對自如。
設備后期的運維成本低，采用的燈管是一體化成型微波點亮技術且設備能夠后期自行定期清理。
